高架地板主要是以可調支架、橫梁、面板等組合拼裝而成的。支架、橫梁、面板的技術性能應符合設計要求和國家現行規范規定。架空防靜電地板是用支架、橫梁、面板組裝。水平地板和面板之間就有一定的懸空空間。就可以用來下走線及回風。高架地板的作用就是把經過潔凈室頂部高效過濾器處理的空氣垂直導入地板下方的回風道，從而在潔凈室內垂直的氣流流形。

     潔凈室是否需要裝高架地板和氣流流型有關。所謂氣流流型就是對潔凈室內空氣的流動形態和分布進行合理的設計。潔凈室氣流流型的特點為:應考慮避免或減少渦流,減少二次氣流,有利于迅速有效地排除污染物;應盡量限制和減少室內污染源散發的塵和菌的擴散,維持室內生產環境所要求的空氣潔凈度等級;兼顧維持室內的溫、濕度及工作人員的舒適要求。

     百級潔凈室的氣流流型是單向流或混合流。單向流是指沿單一方向呈平行流線,并且橫斷面上風速一致的氣流;和百級以上潔凈間所采用的混流或亂流方式（即空氣以不均勻的速度呈不平行流線流動）相比較，它具有效果完全、運轉迅速穩定、粉塵堆集與再飄浮極少，以及管理容易等優點，但是設備造價非常高，維護費用也很高。

    根據電子工業潔凈廠房設計規范（9GB50472-2008）

     百級潔凈室氣流組織形式為單向流或混合流。

     雖然采用高級地板有諸多優點，但實際上百級潔凈室并不一定要使用高架地板。